广东省投资项目在线审批监管平台·备案公开 · 2026-10-16 · 投资额以原公示为准
项目对洁净车间、综合动力站等区域装修改造,装修面积约6200平方米。项目经购入光刻设备、量检测设备等生产配套设备,生产高端光掩模产品,新增产能不超过9000片/年,进一步完善公司高端半导体光掩模生产制造能力。项目属于产业结构调整指导目录《产业结构调整指导目录(2024年本)》“鼓励类”第二十八类信息产业第4条集成电路。
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