中项目网cnproject.cn中项目网cnproject.cn广东省投资项目在线审批监管平台·备案公开 · 2026-10-16 · 投资额 5.77 亿元
本项目拟利用现有厂房约200平方米，通过实施研发场地装修及改造，购置高端光刻、高端量检测等研发设备与工艺校准等软件，开展高端半导体光掩模技术研究、工艺开发及产品研发，并推进产业链协同研发与验证。项目属于产业结构调整指导目录《产业结构调整指导目录（2024年本）》“鼓励类”第二十八类信息产业第4条集成电路。
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