高端半导体光掩模前沿技术研发项目

百云数据内部　·　2026-10-16　·　投资额 5.77 亿元

项目信息

发布日期: 2026-10-16
所属行业: 工业制造
所处阶段: 立项审批
所在地: 广东
信源: 百云数据内部
建设单位: 广州新锐光掩模**股份有限公司
投资额: 5.77 亿元
项目代码: 2610-440112-04-01-505205

建设内容

本项目拟利用现有厂房约200平方米，通过实施研发场地装修及改造，购置高端光刻、高端量检测等研发设备与工艺校准等软件，开展高端半导体光掩模技术研究、工艺开发及产品研发，并推进产业链协同研发与验证。项目属于产业结构调整指导目录《产业结构调整指导目录（2024年本）》“鼓励类”第二十八类信息产业第4条集成

原始公告

本条目信息整理自公开公示，原文请见：
https://tzxm.gd.gov.cn/tzxmspweb/api/publicityInformation/selectByPageBANew#page=5

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